ՀՍՀ/ԿԱԹՈԴԱՅԻՆ ՓՈՇԻԱՑՈՒՄ

ԿԱԹՈԴԱՅԻՆ ՓՈՇԻԱՑՈՒՄ, գազային պարպման ընթացքում կաթոդի նյութի ատոմների կամ մոլեկուլների անջատման և ցրման երևույթը, պայմանավորված է կաթոդի մակերևույթին գազի դրական իոնների հարվածներով: Բնութագրվում է Կ. փ-ման գործակցով, որը կախված է կաթոդի նյութից, հարվածող իոնների էներգիայից, զանգվածից, անկման անկյունից և գազի ճնշումից: Իոնային սարքերում Կ. փ. առաջացնում է կաթոդի քայքայում, խողովակի ներսում ցրված նյութի նստվածքներ, գազի ճնշման անկում ևն: Կ. փ-ման օգտակար կիրառումներից են մակերևույթների մաքրումը, նյութի կառուցվածքի ուսումնասիրումը, ուղղորդված ատոմային փնջերի ստացումը և, հատկապես, մետաղյա ծածկույթների ու թիթեղների գերբարակ շերտերի պատրաստումը: